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[常見問題]真空系統中有哪些氣體需要被抽？[ 2018-03-29 08:05 ]
首先是真空系統工藝過程中產生的氣體。它包括工藝過程中材料放出的氣體以及工藝需要而引入的氣體，同時真空系統中液體或固體蒸發的氣體也包含其中。不同的工藝過程以及不同的被處理材料，這部分氣體的量的計算都是不同的。
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