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安裝調試過程雖然是真空檢漏工作的主要集中階段,但在一開始的設計中也不容忽視。
首先是確定真空設備的大允許漏率。這點需要根據真空設備應用的工藝要求、真空設備組成等來確定,并根據總漏率來確定細節的允許漏率。
第二,根據真空設備的允許漏率,初步確定適用的檢漏方法,并作為指導設備設計、加工、調試、驗收的基本原則之一。
第三,還是根據設備的漏率指標,確定真空設備的密封、連接方式和總體加工精度。
第四,真空容器等涉及結構強度設計時,要考慮相關部件具有對應的耐壓能力、結構強度等。如檢漏時采用加壓法。
第五,選擇零部件結構材料時,要考慮部件是否可能會被工作介質、示漏氣體等腐蝕。
第六,真空設備結構設計中要在設備系統中留有必要的檢漏儀器備用接口,供設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是在復雜大型真空系統場合,通常采用分段檢漏,因此在系統管路上要設置分段隔離的閥門,并在每一段隔離段上都預留檢漏儀器接口。
第七,零件結構設計時,盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。如真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式(安裝螺釘后螺孔內部空間氣體只能通過螺紋間隙逸出,形成虛漏,延長了系統抽氣時間,也會干擾真空檢漏的正常進行)。
第八,真空設備結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構,以免產生“寄生容積”。當只有內側焊縫或密封圈有漏孔時,“寄生容積”內的氣體會形成虛漏;而當內外兩側焊縫或密封圈同時泄漏時,“寄生容積”使氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長,導致無法檢漏。
第九,焊接結構設計時,盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。
上面9點就是在真空設備設計中即需要引起注意的工作內容,未雨綢繆,以減少后期真空空檢漏工作的難度。
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